(资料图片仅供参考)
近日,拓荆科技公告称,拟通过发行股份及支付现金方式,购买无锡尚积82.97%股份、上海泰纳微100%股权及无锡宽行100%股权,交易价格合计25亿元。交易完成后,公司将直接及间接持有无锡尚积100%股份。无锡尚积主要从事半导体薄膜沉积与刻蚀设备的研发、生产和销售。
据天眼查显示,无锡尚积半导体科技股份有限公司拥有“具备离子轨迹调控功能的PVD溅射准直设备”发明专利,于今年9月获得授权,目前有效。摘要显示,该设备向准直器施加正偏压,并配合基座的负偏压形成加速电场,对金属正离子进行定向加速,以强化深孔底部的薄膜填充效果。
来源:市场资讯
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